高纯水：既将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于10～18.3MΩ*cm极限值。超纯水,是一般纯水设备很难达到的程度，通常采用预处理、反渗透技术、高纯化处理以及后级处理四大步骤，多级过滤、高性能离子交换（抛光）、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法，电阻率方可达18.25MΩ*cm。

制备工业用高纯水的工艺流程

电子行业制备超水的工艺大致分成以下几种：

1. 采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→精密过滤器→阳床→阴床→混床（复床）→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点
2. 采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→混床（复床）→超纯水箱→超纯水泵→后置精密过滤器→用水点
3. 采用反渗透水处理设备与电去离子（EDI）设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→沙炭过滤器→软水器-精密过滤器→反渗透设备→纯水箱→电去离子（EDI）→超纯水箱→超纯水泵→抛光混床-紫外线杀菌器-终端精密过滤器→用水点
   
   

   工程实例

   3t/h电子行业用高纯水系统

   原水管道－原水加压泵－多介质过滤器－活性炭过滤器－软水器－精密过滤器－反渗透机－中间水箱-EDI装置－中间水箱-抛光树脂-紫外线杀菌器-终端精密过滤器－用水点-回中间水箱
   
   
      

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